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器件参数测量软件-FastLab

主要特点

功能特点

界面友好,操作简单,功能全面。可以与MeQLab或其他分析工具进行数据输出,形成一个完整的建模平台。机器学习算法使其测量速度是同行产品的2-3倍。


支持器件类型

Mosfet、MosSOI、BJT、

Diode、Capacitor、Resistor


主要应用

● 晶圆映射:界面简易友好,可以迅速制定wafer测量计划,并查看测量结果。包括:编辑subdie、设置subdie测量内容、选择die和device,制定

test plan、通过图标能清晰地分辨出各个die/ subdie的测量情况。

● 更多更全面的IV和CV测量例程;

● 支持Stress测量;

● 高度集成界面,更容易地完成Meter, Matrix, Probe的设置和管理,并通过Routine组织不同Device类型的测量内容,所有设置可一键导出导入;

● 丰富的Log信息,全面详细地显示测量中不同Device和不同page所花费的时间;

● 强大的看图、叠图以及输出Report功能,能够输出WAT友好的excel格式,方便对数据进行后继处理。


支持仪器类型

Meter: FS360/FS380/B1500/HP4284/HP4156/E4980

Matrix: K707/E5250A/B2200

Prober: Cascade Semi-Auto PA300/S300


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